一、微机械及其特征 1.微机械的概念 微型电子机械系统(MEMS),是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。 微型机械在美国常称为微型机电系统MEMS(MicroElectro Mechanical System),在日本称为微机械(Micromachine),欧洲则称为微系统(Micro-System)。 微机械按其尺寸特征可分为微小机械(1~10mm),微机械(1μm~1mm),纳米机械(1nm~1μm)。微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活将产生革命性的影响。并在未来高科技战争中扮演着举足轻重的角色,是关系国民经济发展和国家安全保障的关键技术。 2.微机械的特征 (1)体积小,精度高,重量轻 (2)性能稳定,可靠性高 (3)能耗低,灵敏度和工作效率高 (4)多功能和智能化 (5)适用于大批量生产,制造成本低 二、微细加工工艺方法 微细加工是指加工尺度为微米级范围的加工方式,是MEMS发展的重要基础。 1.超微细加工 2.光刻加工 3.体刻蚀加工技术 4.面刻蚀加工技术 5.LIGA技术 6.封接技术 7.分子装配技术 三、微细加工技术的发展与趋势 微细加工技术总的发展趋势是: (1)加工方法的多样化 (2)加工材料从单纯的硅向着各种不同类型的材料发展, (3)提高微细加工的经济性 (4)加快微细加工的机理研究
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