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电容式传感器的灵敏度及非线性

2015-2-6 17:54| 编辑:电工学习网| 查看: 49060| 评论: 0

    单级变隙电容的相对变化量为:

    非线性误差为:

    结论:要提高灵敏度,应减小d0,但非线性误差却增大

    差动式结构:

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