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1．微传感器的概念 ⑴就单一传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小。 ⑵就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上而形成的集成的传感器。 ⑶就传感器系统而言，微传感器是指传感系统中不但包括微传感器，还包括微执行器，可以独立工作，甚至由多个微传感器组成传感器网络，或者可实现异地联网。 2．微传感器的特点 ⑴体积小、重量轻 ⑵功耗低 ⑶性能好 ⑷易于批量生产、成本低 ⑸便于集成化和多功能化 ⑹提高传感器化智能化水平 3．微传感器分类 按照被测量的物理性质，将微型传感器分为化学微传感器、生物微传感器、物理微传感器等。 |
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GMT+8, 2023-4-26 22:36
